㈜대성엔지니어링, 반도체 장비·물류자동화 솔루션 전문기업

COMPANY PROFILE

㈜대성엔지니어링은 1990년 설립 이후 반도체 장비 및 부품의 국산화를 목표로 기술 개발과 혁신을 이어온 전문기업이다. 반도체 산업 분야에서 다양한 공정장비와 검사용 부품을 국산화해 왔으며, 2004년 R&D 연구소를 설립해 핵심 기술 확보와 연구개발 역량 강화에 지속적으로 투자하고 있다. 주요 사업 분야는 반도체 테스터 부품, 반도체 후공정 장비, 물류자동화 설비 및 개조, 소재·부품 개발 등이다. 반도체 테스트 분야에서는 검사장비용 Kit를 개발·생산하고 있으며, UV Irradiator와 Laminator 등 다양한 반도체 후공정 장비도 자체 기술로 개발하고 있다. 또한 OHT와 Stocker를 비롯한 물류자동화 설비를 반도체 및 일반 산업 분야에 적용하고 있으며, 고성능 가공설비를 활용해 CVD·PVD·ALD 등 반도체 전공정 장비에 사용되는 핵심 부품을 생산하고 있다. 국책과제와 핵심 연구과제를 통해 반도체 및 Factory Automation 분야의 기술력을 높이는 한편, 미래 산업에 대응하기 위한 선행기술 개발도 지속하고 있다.

PRODUCT LINEUP

UV Irradiator: Wafer Dicing 후 Carrier Film 접착력 저감용 UV 조사 장비

CHANGE OVER KIT: Memory·S-LSI·Sorter용 반도체 Final Test Interface Kit

FA Solution-OHT: 반도체·디스플레이 공정용 OHT 시스템

FA Solution-Stocker: FOUP·Cassette·Magazine 운송·저장·분류 시스템

반도체 제조장비 부품: CVD·PVD·ALD 공정용 Chamber Parts·Lid 가공

KEY PRODUCTS

▲ UV 조사기 ‘DSUV-128’

▲ OHT(Overhead Hoist Transfer)

자료제공: ㈜대성엔지니어링 (www.semids.com)