프레스토솔루션 심재왕 이사 “반도체 공정 수율의 핵심은 초정밀 모션 솔루션에 있습니다”
자동화 장비의 성능을 좌우하는 핵심 요소는 이제 단순한 위치 정밀도를 넘어섰다. 특히 반도체 공정의 미세화가 가속되면서, 나노미터 단위의 위치 제어는 물론 구조 진동과 외란까지 동시에 관리해야 하는 시대가 도래했다. 고속·고가속 모션이 요구될수록 미세 진동은 수율을 위협하는 직접적인 변수로 작용하며, 이는 단일 제어 기술만으로 해결하기 어려운 구조적 문제이다. 프레스토솔루션은 이스라엘 ACS Motion Control사의 고성능 모션 컨트롤러와 독일 IDE사의 능동형 진동 제어(Active Isolation) 기술을 결합한 통합 솔루션을 통해 초정밀 반도체 공정에 대응하고 있다. 본지는 심재왕 이사를 만나 초정밀 모션 제어 시장의 변화와 통합 제어 기술의 방향성을 들어봤다.
▲ 프레스토솔루션 심재왕 이사
Q. 프레스토솔루션은 어떤 기업이며, 핵심 역할은 무엇인가?
프레스토솔루션은 정밀 모션 컨트롤 분야에서 세계적으로 탁월한 기술력을 보유한 이스라엘 ACS Motion Control사의 한국 총판으로서, 2008년 설립되어 국내 고객들과 함께 성장해 온 모션 제어 전문 기업이다. 나노미터(nm)급 위치 정밀도가 요구되는 반도체·디스플레이 제조 장비를 대상으로 초정밀 모션 제어와 Active Isolation을 결합한 통합 솔루션을 제공해 왔다. 단순 공급을 넘어 고난도 모션 문제를 분석·해결하는 엔지니어링 역량을 갖추고 있다.
Q. 프레스토솔루션의 기술적 강점을 한마디로 정의한다면?
ACS의 ‘초정밀 모션 제어’와 IDE의 ‘능동형 진동 제어(Active Isolation)’의 결합이라고 말할 수 있다. ACS의 고급 제어 알고리 즘은 고속·고정밀 모션을 구현하고, IDE의 Active Isolation 기술은 바닥 진동과 모션 반작용을 실시간으로 상쇄한다. 이 두 기술 을 하나의 통합 솔루션으로 최적화해 제공하는 점이 프레스토솔 루션의 차별성이다.
Q. 사업 초기부터 ‘진동 제어’를 강조해 온 이유는 무엇인가?
정밀 모션 성능을 달성하는 데 있어 단순히 빠르고 정확하게 움직이는 것만으로는 한계가 있다는 점을 사업 초기부터 인식해 왔다. 실제 공정에서는 위치 오차의 상당 부분이 구조물, 구동계, 외란에 의해 유발되는 미세 진동에서 비롯되며, 이는 고성능 모션 제어기만으로는 해결하기 어려운 것이 사실이다. 따라서 프레스토 솔루션은 ‘공정 미션을 수행하는 모션’과 함께, 그 과정에서 발생 하는 진동을 어떻게 억제하고 관리할 것인가를 핵심 기술 목표로 추구해 왔다.
▲ (사진 왼쪽부터) ACS EC-PX 모션 컨트롤러, MC4U-PX 다축 모션 드라이브 일체형 컨트롤러
▲ (사진 위쪽부터) IDE의 ATAN 300 능동형 진동 제어 시스템, TCN 75 컴팩트 Active Isolation 플랫폼
Q. 최근 반도체 공정 환경의 변화와 기술적 요구사항은?
최근 반도체 공정에서는 나노미터 수준의 위치 정밀도와 반복 정밀도를 동시에 요구하는 사례가 빠르게 증가하고 있다. 이와 같은 환경에서는 구조 진동, 열 변형, 외란까지도 공정 품질에 직접적인 영향을 미친다. 이에 따라 초정밀 모션 제어와 고급 진동 제어 기술은 선택이 아닌 필수 요소가 되었으며, 두 기술을 분리해 접근하는 방식으로는 한계가 명확해지고 있다.
Q. 이러한 시장 변화는 모션 및 진동 제어 기술에 어떤 영향을 미치고 있는가?
기술 트렌드의 변화는 모션 제어의 요구 수준을 단순히 ‘더 빠르게, 더 정확하게’ 만드는 데서 그치지 않는다. 오히려 더 높은 성능을 안정적으로 구현하기 위해 모션제어와 진동 억제의 유기적 융합의 중요성을 증대시키고 있다. 고속 이동, 고가속·고감속, 경량화된 구조는 필연적으로 구조 진동과 공진 문제를 동반하게 된다. 이제는 이러한 진동을 기계 설계만으로 억제하는 방식에는 명확한 한계가 있으며, 능동적인 진동 제어와 고급 제어 알고리즘의 결합이 필수적인 요소로 자리 잡고 있다.
Q. 통합 솔루션이 적용되는 주요 공정 분야는 어디인가?
핵심 적용 분야는 반도체 및 디스플레이 제조 장비이다. 웨이퍼 검사, 계측 장비는 나노미터 단위의 정밀도가 요구되며, 미세 진동에도 매우 민감하다. 이와 함께 초고해상도 디스플레이 잉크젯 프린팅, 리페어 공정, 레이저 마이크로 머시 닝, 2차전지 스태킹(Stacking) 공정 등으로 적용 범위가 확대되고 있다.
Q. 프레스토솔루션의 엔지니어링 접근 방식은 무엇이 다른가?
프레스토솔루션은 문제를 ‘어떤 제품을 사용할 것인가’가 아니라 ‘왜 이 현상이 발생하는가’에서 출발한다. 모션 오차나 공정 불안정 문제가 발생하면 이를 단순한 제어 파라미터 문제로 보지 않고, 기계 구조, 동특성, 외란, 제어 알고리즘을 종합적으로 분석한다. ACS Motion Controller와 Active Isolation 기술을 기반 으로, 제품 중심이 아닌 공정 성능 중심의 솔루션을 제공하는 것이 특징이다.
Q. 향후 반도체 시장에서의 역할과 목표는 무엇인가?
반도체 장비 시장은 모션과 진동을 개별 기술로 다루는 단계에서 벗어나, 시스템 레벨에서 성능을 구현하는 방향으로 진화하고 있다. 프레스토솔루션은 초정밀 모션 제어 기술과 진동 제어에 대한 전문성, 그리고 현장 중심의 엔지니어링 경험을 바탕으로 나노미터급 성능을 실질적인 장비 경쟁력으로 구현하는 기술 파트너가 되고자 한다. 단순한 공급업체가 아닌, 고난도 공정 문제를 함께 해결하는 동반자로서 첨단 제조 산업의 발전에 기여하는 것이 목표다. 또한 초정밀 공정이 요구되는 첨단 제조 산업에서는 모션 제어와 진동 제어 기술의 중요성이 앞으로 더욱 커질 것으로 보고 있다. 프레스토솔루션은 글로벌 파트너사와의 기술 협력을 바탕으로 국내 장비 업체들이 세계 시장에서 경쟁력을 확보할 수 있도록 지원하는 역할을 지속해 나갈 예정이다.
자료제공: 프레스토솔루션(www.prestosolution.co.kr)
