커미조아, ‘SEDEX 2025’에서 고성능 제어 시스템 선보이며 정밀 제어 기술력 강화

▲커미조아는 지난 10월 22일부터 24일까지 열린 ‘SEDEX 2025’에 참가해 고성능 제어 시스템을 선보이며 참관객들의 많은 눈길을 끌었다.

커미조아가 지난 10월 22일부터 24일까지 열린 ‘SEDEX 2025’에 참가해 초정밀 유량 제어기와 멀티존 온도제어기 그리고 EtherCAT 기반 통합 제어시스템을 선보이며, 반도체 및 정밀 공정 장비 시장에서의 기술 경쟁력을 입증했다고 밝혔다.

초음파 유량 제어기 ‘COMI-ULFC-EC/S’: COMI-ULFC-EC/S는 커미조아가 개발한 차세대 초정밀 유량제어기(In-line Precision Flow Control)로, 반도체·디스플레이·정밀공정 장비에 적용되는 핵심 제어 장비이다. 이 제품은 초음파 센서와 고속 AD 샘플링 기술을 적용해 미세 유량까지 실시간 정밀 제어가 가능하며, 커미조아의 독자 알고리즘을 통해 외란에 강한 안정성을 확보했다. 또한 Bubble Detection 기능을 내장해 기포나 미세한 변화를 실시간 감지보정함으로써 기존 MFC 대비 응답성과 재현성을 대폭 개선했다.

온도 제어기 ‘cEIP-TCU-MZC’: 함께 공개된 COMIZOA cEIP-TCU-MZC(멀티존 온도제어기)는 Adaptive Control과 EDS 기술을 적용해 온도 안정성과 제어 정밀도를 대폭 향상시킨 제품이다. Ethernet 기반 구조로 최대 255개 노드까지 확장 가능하며, SISO〮MIMO 제어 방식 모두를 지원해 공정별 세밀한 열제어가 가능하다.  또한 SSR, SCR, CT 모듈 구성을 유연하게 선택할 수 있어 장비 구조에 맞춘 맞춤형 온도 제어 솔루션 제공이 가능하다.

EtherCAT Master 및 Slave 제품군: 커미조아의 EtherCAT Master 및 Slave 제품군은 고속·고정밀 통신을 통한 실시간 제어에 최적화된 구조로, 최대 6만5000개 이상의 노드를 지원하며 100ns 단위의 동기 제어를 구현한다. 또한 PC 부하를 최소화하고 안정적인 네트워크 구성이 가능해 고속·고정밀 제어가 필요한 반도체 및 디스플레이 장비에 최적화됐다.

한편 커미조아는 이번 전시에서 고급 모션 제어 기능을 시연했다. Sweep 기능을 통한 양방향 이송 제어, BitSequence 기반 고속 I/O 제어, 그리고 실시간 Encoder Follow Motion 기능을 통해 정확한 위치속〮도시〮간 제어를 구현하는 고정밀 제어 기술을 선보여 눈길을 끌었다. 

커미조아 관계자는 “이번 전시는 커미조아의 기술이 단순한 장비 제어를 넘어 산업 전반의 흐름을 제어하는 플랫폼으로 확장되고 있음을 보여준 자리였다”며 “앞으로도 제어 기술의 영역을 넘어, 스마트 제조와 반도체 공정 혁신을 이끄는 기술 파트너로서 역할을 강화하겠다” 고 말했다.

자료제공: 커미조아(www.comizoa.com)